Эффективная диэлектрическая проницаемость сегнетоэлектрической пленки в составе плоскопараллельных и планарных конденсаторов
Экспериментально и теоретически исследованы характеристики плоскопараллельных и планарных сегнетоэлектрических конденсаторов. Исследован размерный эффект в тонкой пленке сегнетоэлектрика Ba0.3Sr0.7TiO3 в составе плоскопараллельных и планарных конденсаторов.
Авторы: С. П. Зубко, А. Г. Гагарин, Н. Ю. Медведева
Направление: Микро- и наноэлектроника
Ключевые слова: Тонкая пленка, размерный эффект, сегнетоэлектрик, конденсатор
Открыть полный текст статьи