Влияние лазерного отжига на структуру, оптические и электрические свойства тонких пленок оксида цинка
Представлены результаты исследования влияния лазерного отжига пленок оксида цинка на их оптические и электрические характеристики. Отработаны технологические режимы модификации слоев для использования в производстве тонкопленочных солнечных модулей.
Авторы: В. П. Афанасьев, Н. В. Мухин, Д. Н. Редька, И. А. Шарипова
Направление: Проектирование и технология радиоэлектронных средств
Ключевые слова: Оксид цинка, лазерный отжиг, фотовольтаика, лазерная микрообработка, технология
Открыть полный текст статьи