Спектры фотопроводимости пленок аморфного гидрогенизированного кремния с нанокристаллическими включениями
Разработана методика исследования пленок аморфного гидрогенизированного кремния с неоднородно распределенными по толщине нанокристаллическими включениями (pm-Si:H), осажденных на стеклянные подложки. Исследованы спектры фототока для пленок различной толщины при освещении со стороны свободной поверхности пленки и со стороны стеклянной подложки. Установлено наличие остаточной фотопроводимости, а также двух максимумов в спектрах фотопроводимости пленок, что, по-видимому, свидетельствует о наличии кристаллической и аморфной фаз в пленках.
Авторы: В. П. Афанасьев, А. В. Васильев
Направление: Квантовая, твердотельная, плазменная и вакуумная электроника
Ключевые слова: pm-Si:H, спектры фототока, остаточная фотопроводимость
Открыть полный текст статьи