Структура и свойства тонких пленок титаната-цирконата бария и титаната-станната бария для сверхвысокочастотных применений

Исследованы структурные и высокочастотные диэлектрические свойства тонких пленок сегнетоэлектрических твердых растворов BaZrxTi1-xO3 и BaSnxTi1-xO3, выращенных методом высокочастотного магнетронного распыления керамических мишеней на подложке Pt/r - срез Al2O3. Выявлена высокая управляемость диэлектрической проницаемости тонких слоев под действием приложенного электрического поля при приемлемых для сверхвысокочастотных применений диэлектрических потерях.

Авторы: А. В. Тумаркин, С. В. Разумов, А. Г. Гагарин, А. М. Чернявский, Н. А. Ялымов, М. В. Злыгостов, А. А. Потешкина, Ю. А. Уваренкова, В. И. Иванова

Направление: Электроника СВЧ

Ключевые слова: Высокочастотное магнетронное распыление, тонкие пленки, титанат бария-стронция, титанат-цирконат бария, титанат-станнат бария, рентгеновская дифрактометрия

---

Открыть полный текст статьи