Влияние давления рабочего газа на компонентный состав и свойства тонких пленок титаната бария–стронция
Исследовано влияние давления рабочего газа и тока разряда в процессе ионно-плазменного распыления на параметры осаждаемых сегнетоэлектрических покрытий титаната бария–стронция. Поскольку давление рабочего газа влияет на длину термализации распыленных атомов, его изменение в процессе осаждения позволяет менять компонентный состав осаждаемой пленки. Изменение тока разряда приводит к изменению скорости роста пленки.
Авторы: А. В. Тумаркин, А. Ю. Попов, М. В. Злыгостов, С. В. Разумов, А. Г. Гагарин, А. Г. Алтынников
Направление: Электроника СВЧ
Ключевые слова: Высокочастотное магнетронное распыление, тонкие пленки, титанат бария–стронция, давление рабочего газа, компонентный состав, резерфордовское обратное рассеяние, длина термализации, атомно-силовая микроскопия
Открыть полный текст статьи